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LCD/半導體行業廢氣處理
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LCD/半導體行業廢氣處理詳情

LCD/半導體行業廢氣處理簡述:

半導(dao)體製(zhi)造(zao)業是集(ji)合物理、電子(zi)、電機、光學、化學(xue)、材料及管理科學的(de)高科技工業。電子(zi)行業主要是元器件組裝焊接過程中對大氣的汙染和電路板等器件清洗等表麵處理過程中因使用一些化學(xue)藥劑(如硫酸、鹽酸(suan)、氟(fu)氯化碳、四氯(lv)化碳(tan)、三氯乙烷(wan)及其他有機(ji)鹵(lu)化物)揮發造成(cheng)對大氣環(huan)境的汙染,以(yi)及(ji)整機裝配過程中產生的機械(xie)噪聲(sheng)和少(shao)量(liang)粉(fen)塵也(ye)會(hui)造成環境(jing)汙染,這些(xie)汙染氣體會造成人群慢性(xing)或急(ji)性中毒。由於(yu)半(ban)導體元件製程中,使(shi)用多(duo)種酸堿(jian)溶液、有機溶劑及特殊(shu)的有毒氣體,其(qi)產(chan)生的廢氣及有毒物質汙染強(qiang)度(du)大,若(ruo)做(zuo)不(bu)好汙染防治工作,將(jiang)造成嚴(yan)重的環境汙染。目前更先進(jin)的處理方法有:蓄(xu)熱式(shi)氧化(hua)法(fa)(RTO)、濃(nong)縮(suo)轉輪+RTO、熱(re)力燃燒(shao)法(TO)、催化燃(ran)燒法、吸附法、吸(xi)收法。

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